PVD&RPD光伏上下料机是HJT电池制备TCO导电膜工艺中的上下料设备，PVD制备TCO导电膜为双面镀膜，是HJT的第三道工序，对于精度的要求较高。载板与硅片的间隙理论精度0.1mm，实际在0.2mm以内就能满足要求。上下料机通过皮带传输硅片至夹具取片位，夹具夹持硅片后将硅片放入载板储片槽内，再将装满硅片的载板送入工艺腔内镀膜沉积。由于皮带打滑或其它因素会导致传输硅片过程中存在位置差异，导致硅片不能精准放入载板储片槽内，需要对硅片进行对位纠偏处理。

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设备痛点

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纠偏CT难以提升，调试周期长

目前国内设备节拍基本处于1.8秒以上，客户期望突破0.7秒，且载板与硅片精度＜±0.15mm，增加业内竞争力。

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空间紧凑接线繁琐，焊线及排查故障难

驱动器和网线数量多，绝对值电池盒较大且焊线难度高，占电柜空间且人工+线材成本高；客户希望省空间省时省力。

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整套成本高

纠偏轴数多，整体成本偏高，客户希望具有高性价比。

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解决方案

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一次对位纠偏技术

通过一次对位纠偏技术，将原先的2次拍照，2次纠偏，优化为1次拍照，1次纠偏，减少对位平台XYθ动作次数，大大提升设备节拍。

通过一次拍照获得的数据进行处理，分别计算得出角度纠偏值，及角度纠偏后带来的XY二次偏移值，按纠偏结构进行动作分解后，依次进行角度纠偏与XY纠偏。

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雷赛HJT对位平台纠偏控制系统方案架构

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雷赛方案优势及价值

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综合成本节省75%

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整套方案更高效

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安装空间节省50%以上

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主控带轴能力更强

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雷赛HJT-PVD&RPD整套控制系统方案架构