设备概述

PVD&RPD光伏上下料机是HJT电池制备TCO导电膜工艺中的上下料设备,PVD制备TCO导电膜为双面镀膜,是HJT的第三道工序,对于精度的要求较高。载板与硅片的间隙理论精度0.1mm,实际在0.2mm以内就能满足要求。上下料机通过皮带传输硅片至夹具取片位,夹具夹持硅片后将硅片放入载板储片槽内,再将装满硅片的载板送入工艺腔内镀膜沉积

纠偏CT难以提升,调试周期长

目前国内设备节拍基本处于1.8秒以上,客户期望突破0.7秒,且载板与硅片精度<±0.15mm,增加业内竞争力。

空间紧凑接线繁琐,焊线及排查故障难

驱动器和网线数量多,绝对值电池盒较大且焊线难度高,占电柜空间且人工+线材成本高;客户希望省空间省时省力。

整套成本高,调试效率低

整机纠偏轴数多,控制成本高,同时调试效率低,排查问题难。

一次对位纠偏技术


通过一次对位纠偏技术,将原先的2次拍照,2次纠偏,优化为1次拍照,1次纠偏,减少对位平台XYθ动作次数,大大提升设备节拍。

多合一定制化产品


解决电控柜空间空间紧凑;接线繁琐及问题排查难得问题

01


4个驱动器仅安装一个电池盒,驱动器+电池盒+电源线+通讯线节省75% 人工+材料成本

02


纠偏一拖四驱动40mm宽度,(体积仅为一台单轴驱动器)空间节省50%以上

03


配置步进电机+伺服方案,整套成本节省30%,同时安装空间节省50%以上

04


主控带轴能力更强达到128轴

05


XYZR采用一颗MCU,系统响应更快,提升30%