设备概述

IC固晶是半导体封装的关键设备,主要用于将芯片(Die)从晶圆(Wafer)上精确拾取并贴装到基板上,然后通过银胶(Epoxy)、共晶焊接(Eutectic Bonding)或激光焊接等方式固定。

提速遇到瓶颈,UPH难以提升

定位精度+力控精度

定位偏差<±20um,力控最高精度要求精度2g

设备高速抖动大

影响固晶良率和机械寿命

对成本与安装空间有要求

轴数30+轴以上,IO多

通讯耗时低


总线指令耗时低、主控运行周期短

定位精度高


伺服超级追踪功能,快速响应

柔性启停


提供软启动、软着陆及高阶速度曲线

调试便利


调试便利性,EtherCAT组网通讯参数批量下载

01


机台稳定性振幅降低10%

02


飞拍功能缩短30%

03


UPH提升10%

04


指令耗时缩短10倍