
行业面临的挑战
提速遇到瓶颈,UPH难以提升
定位精度+力控精度
定位偏差<±20um,力控最高精度要求精度2g
设备高速抖动大
影响固晶良率和机械寿命
对成本与安装空间有要求
轴数30+轴以上,IO多
方案架构
方案特点
通讯耗时低
总线指令耗时低、主控运行周期短
定位精度高
伺服超级追踪功能,快速响应
柔性启停
提供软启动、软着陆及高阶速度曲线
调试便利
调试便利性,EtherCAT组网通讯参数批量下载
实现价值
01
机台稳定性振幅降低10%
02
飞拍功能缩短30%
03
UPH提升10%
04
指令耗时缩短10倍
生产基地: